超精密マシニングセンター
【芝浦機械 UVM-450D(H)】
【機械仕様】
・最大主軸回転数 ： 60,000 rpm
・全軸リニアモーター駆動
・最小指令値：0.01μm
・加工範囲/ＸＹＺ：585×525×250mm
・空気静圧軸受主軸
・超音波楕円振動切削機能
・切削による鏡面加工対応
・専用恒温ブースに設置。22℃から±0.1℃の加工環境温度を管理
CNCジグボーラー
【安田工業 YBM-640VⅢ】
【機械仕様】
・最大主軸回転数 ： 24,000 rpm
・制御軸：３軸,5軸パレットチェンジャー切替式
・最小指令値：0.1μm
・加工範囲/ＸＹＺ：600×400×350mm
CNCジグボーラー（ダイセット加工用）
【安田工業 YBM-1218V】
【機械仕様】
・最大主軸回転数 ： 10,000 rpm
・制御軸：３軸 Z軸ハイコラム仕様
・最小指令値：1μm
・加工範囲/ＸＹＺ：1,800×1,200×1,200mm
高精度高速微細5軸加工機
【機械仕様】
・最大主軸回転数 ： 30,000 rpm
・制御軸：5軸（付加軸A,C）
・最小指令値：1μm
・加工範囲/ＸＹＺ：510×410×310mm
【碌々産業 CEGA542-5AXP】
高速・超精密 形彫り放電加工機
【ゾディック AP30L】
【機械仕様】
・全軸リニアモーター駆動
・加工範囲/ＸＹＺ：300×250×200mm
・機体温調システム
・ピッチ加工精度±2μm
・深さ精度±1μm
ワイヤカット放電加工機
【三菱電機 MP-2400】
【機械仕様】
・シャフトリニアモーター駆動
・加工範囲/ＸＹＺ：1,050×820×305mm
・面粗度 Rz 0.6μmが可能
・板厚100mmで形状精度±1.5μm
・φ0.-5m細線の利用で、インコーナーR30μmの加工に対応可能
・自動結線対応
超精密成形平面研削盤
【機械仕様】
・加工範囲/ＸＹＺ：1,000×450×340mm
・油静圧案内面リニアモーター駆動
・サブミクロンの平行度、平坦度、鏡面度で加工可能
・機上3次元測定
・オートバランサー機能で砥石の振れを10μm以下で制御
専用恒温ブース22±0.1℃管理
成形平面研削盤
【ニッコー F-515ADⅡS】
【機械仕様】
・加工範囲/ＸＹＺ：520×170×260mm
・砥石回転速度：0-3,600rpm