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測定設備
精密非接触3次元測定機
【ZEISS O-INSPECT863】
【測定機仕様】
・測定範囲/ＸＹＺ：800×600×300mm
・最大ワーク重量：100kg
・カメラ倍率：0.5～6.3倍(10段階)
・ロータリーテーブル搭載
・3種類の測定方法で様々な形状の測定が可能
テレセントリック
ズームレンズ
(カメラ式非接触測定)
ホワイトライトセンサ
(白色光非接触測定)
接触式
スキャニングプローブ
非接触形状測定機
【東京精密 Opt-scope R】
【測定機仕様】
・測定範囲：Φ148×200mm
・最大ワーク重量：20kg
・カメラ倍率：×5倍、×10倍
・分解能：10μm
・3次元粗さの規格「ISO25178-2」に対応
ワンショット3D形状測定機
【キーエンス VR-5000】
【測定機仕様】
・測定範囲：184×88×73（電動）
・最大ワーク重量：4.5kg
・カメラ倍率：低倍×50、高倍×160
・幅測定繰り返し精度：1μm
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