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測定設備
精密非接触3次元測定機
【ZEISS O-INSPECT863】

【測定機仕様】
・測定範囲/XYZ:800×600×300mm
・最大ワーク重量:100kg
・カメラ倍率:0.5~6.3倍(10段階)
・ロータリーテーブル搭載
・3種類の測定方法で様々な形状の測定が可能
テレセントリック
ズームレンズ
(カメラ式非接触測定)
ホワイトライトセンサ
(白色光非接触測定)

接触式
スキャニングプローブ
非接触形状測定機
【東京精密 Opt-scope R】

【測定機仕様】
・測定範囲:Φ148×200mm
・最大ワーク重量:20kg
・カメラ倍率:×5倍、×10倍
・分解能:10μm
・3次元粗さの規格「ISO25178-2」に対応
ワンショット3D形状測定機
【キーエンス VR-5000】

【測定機仕様】
・測定範囲:184×88×73(電動)
・最大ワーク重量:4.5kg
・カメラ倍率:低倍×50、高倍×160
・幅測定繰り返し精度:1μm
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